SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯有什么作用？

SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯有什么作用？

CMP即化學(xué)機(jī)械平面化是用于制造半導(dǎo)體工業(yè)中晶圓的拋光工藝，通常由于運(yùn)輸或處理問題，干燥以及漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的相互作用，漿料再運(yùn)輸?shù)骄A表面的過程中會(huì)帶入大顆粒雜質(zhì)，會(huì)對(duì)半導(dǎo)體晶片表面造成損傷。

SPPL系列CMP漿液過濾聚丙烯折疊濾芯就是專為微電子器件中的化學(xué)機(jī)械拋光漿料過濾而設(shè)計(jì)的。濾芯采用熔噴工藝，形成等分布的均勻顆粒，濾材內(nèi)部呈三維微孔結(jié)構(gòu)，微孔孔徑順濾液方向梯狀分布，能有效截留不同大小的顆粒。有效提高過濾效率的同時(shí)，還解決了濾芯容易堵塞的問題，延長濾芯的使用壽命。

SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯的優(yōu)點(diǎn)：

1、濾袋過濾孔徑成梯狀分布，對(duì)可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F(tuán)狀顆粒敏感，能實(shí)現(xiàn)有效過濾并延長濾芯使用壽命。

2、濾芯化學(xué)性能穩(wěn)定，耐酸耐堿性液體。

3、濾芯采用熱熔工藝，密封性良好，且通過性好，適用于大部分型號(hào)。

4、濾芯過濾面積大、過濾效率高、有效提高晶片的成品率。